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氮氣發(fā)生器的使用操作規(guī)范
點擊次數(shù):1113 更新時間:2023-06-07
氮氣發(fā)生器是一種用于制取高純度氮氣的設(shè)備,它能夠?qū)⒖諝庵械碾s質(zhì)去除,使得生成的氮氣品質(zhì)更加穩(wěn)定和可靠。因此,在許多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用,比如在電子、化學(xué)、醫(yī)藥等行業(yè)。
一、儀器基本原理
1、空壓機:利用空壓機對大量空氣進行壓縮,并存放在儲罐內(nèi)。
2、制冷系統(tǒng):通過制冷系統(tǒng)降低空氣溫度并凝結(jié)其中的水分。
3、分離裝置:分離出水分及其它雜質(zhì), 以獲得較為純凈且穩(wěn)定的高品質(zhì) 氧/ 氮混合物。
4、儲存裝置:將產(chǎn)生的高品質(zhì) 氧/ 氮混合物儲存在容積足夠大、安全性良好同時易于管理與使用 的儲罐內(nèi)。
二、使用方法
1、接通電源和管道后,打開控制面板上相應(yīng)按鈕來啟動設(shè)備。
2、調(diào)整輸出流量和壓力值至所需范圍之內(nèi),并開始運行設(shè)備。
3、在正常操作時,請監(jiān)測各項指標是否處于規(guī)定范圍內(nèi),如有異常請及時處理。
4、在設(shè)備停止工作或者需要更換配件的時候,請注意安全操作。
三、使用注意事項
1、使用前,進行相關(guān)規(guī)范的檢測和校準以確保儀器正常運行,并記錄好相應(yīng)參數(shù)。
2、設(shè)備只能由專業(yè)人員操作,并且要按照正確程序進行操作。不得隨意開啟或強制關(guān)閉系統(tǒng)等危險行為。
3、避免長期在高溫、潮濕環(huán)境下使用氮氣發(fā)生器, 應(yīng)定期對其外殼清潔并加以防腐護理.
4、將設(shè)備維修與大型維護服務(wù)委托給資質(zhì)服務(wù)機構(gòu)完成,并按照規(guī)定周期進行日常保養(yǎng)維修工作。
四、適用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè): 在微電子制造過程中,氮氣被廣泛應(yīng)用于DRIE(深刻蝕刻), LPCVD(低壓化學(xué)汽相沉積), CVD (化學(xué)汽相沉積) 等一系列關(guān)鍵技術(shù)中。同時也可以用于晶圓盒封裝后的干燥和存放過程中。
2、化學(xué)實驗:用氫/ 氦載氧火焰離子色譜儀時,就是一個重要的配件。
3、醫(yī)藥制造:在醫(yī)藥制造過程中, 氮氣往往被用作一種干燥和保護性載體。
氮氣發(fā)生器是實驗室中常見設(shè)備之一,在許多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。溫馨提示大家在使用過程中要注意安全問題,并按照操作規(guī)范進行相應(yīng)的維護與保養(yǎng)工作。
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